本应用简报介绍了使用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 等技术共同表征剥离液的方法。HPLC-UV 可用于初步表征样品中具有紫外吸收的化合物，并作为产品质量控制的常规手段；而 GC-MS 和 LC-MS 不仅仅可以检出不含紫外官能团的低浓度化合物，还能够对化合物进行定性和定量分析，适用于剥离液的含量测定、杂质研究和配方剖析。

　　光刻是一种在薄膜或基板（也称为“晶圆”）上对零件图形化的 精密加工工艺。光刻技术利用光将几何图形从光掩模（也被称为 “光罩”）转移到基板上的感光（即光敏）化学光刻胶上，通过一系列化学处理将曝光图形蚀刻到材料中；或者将新材料以所需图形沉积在光刻胶下方的材料上。光刻技术大范围的应用于芯片、平 板显示器和微机电系统等的制造。在整个光刻流程中，不仅用到光刻胶，还需要用显影液、蚀刻液和剥离液等化学品。剥离作为光刻流程的重要工序之一，目的是将光刻胶从基板上彻底清除，而不腐蚀基板本身。

　　光刻胶种类很多，大致分为正性和负性光刻胶两大类。不同的光刻制程所用的光刻胶材料也有区别。为了充分剥离附着在基板上的光刻胶，需要依据光刻胶的种类和结构特性，有明确的目的性的选择剥离液。剥离液的种类很丰富，最重要的包含正胶剥离液（水系或有机系）、剥离清洗液（铝制程）和剥离清洗液（铜制程）等。例如，针对主要成分为酚醛树脂和感光剂的 UV 光刻胶（曝光波长 465 nm/365 nm），剥离过程最重要的包含：醇胺类化合物攻击光刻胶，打断光刻胶分子链，生成分子量更小的光刻胶片段；有机溶剂渗透至光刻胶片段分子链内部，发生溶胀，然后醇醚类化合物进一步溶解溶胀后的光刻胶片段；最后，光刻胶片段分子链随喷 淋液流和清洗水流脱离基板表面[2]。

　　剥离液的主要成分包括醇、有机胺和醚类[1-4]。为保护基板不被腐蚀，可能会向剥离液中加入一些芳香族化合物、羟基化合物、苯并类化合物[5]、氨基酸、有机酸或酸酐[1]。有关剥离液的成分分析鲜有报道。本文采用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 对剥离液进行了全面表征。其中，HPLC 作为常规检验测试手段，可用于剥离液的日常检测；而 GC-MS 和 LC-MS 由于具有高灵敏度，且能根据质谱信息鉴定化合物，因此是研究应用的首选工具。另外，本文中 GC-MS 和 LC-MS 对有机胺和醚类化合物的鉴别判定的结果可以相互印证。

　　使用 Agilent Vaya 拉曼光谱仪对 mRNA 脂质纳米颗粒组分进行原辅料鉴定

　　手持式拉曼光谱仪能够穿透透明和不透明的包装容器来鉴别原辅料。本应用简报展示了使用基于空间位移拉曼光谱(SORS) 的手持式 Agilent Vaya 拉曼光谱原辅料鉴定验证系统，穿透透明玻璃和白色不透明聚乙烯容器对 mRNA 脂质纳米颗粒 (LNP) 组分进行化学身份验证和测试。

　　使用 Agilent Vaya SORS 在无需复杂化学计量学方法的情况下验证常见的硬脂酸盐

　　硬脂酸镁、硬脂酸钙或硬脂酸锌常用于药品生产。虽然这些金属硬脂酸盐表现出相似的化学性质，但它们在生产的基本工艺中不一定能够互换。因此，为避免生产流程中断，在仓库接收时对它们进行检验确定和区分至关重要。在进库时，利用拉曼光谱准确区分硬脂酸类似物历来具有挑战性。考虑到化合物谱图的相似性，常常要先进的化学计量学软件来构建硬脂酸盐模型，然后对它们进行鉴定。

　　穿透透明和不透明容器进行化妆品原辅料鉴定检验测试——更高效、便捷地遵循当前和未来的 GMP 要求

　　随着对化妆品生产规格要求的日益严格，生产质量管理规范的格局已发生变化，并影响了质量控制 (QC) 流程，旨在满足质量、成本和效率方面的要求。尤其是在原辅料鉴定 (ID) 检验测试方面，仓库中慢慢的开始采用现场检测解决方案。Agilent Vaya Raman是新一代拉曼手持式光谱仪，可直接透过容器进行原辅料鉴定检验测试。本应用简报探讨了在化妆品原辅料鉴定检验测试中 Vaya 穿透透明及不透明容器的能力，并介绍了其对原辅料接收流程的影响。

　　利用创新的透射 FTIR 光谱法对 MEA 三嗪硫化氢清除剂进行定量分析

　　硫化氢 (H2S) 是石油和气体开采中一种常见的污染物。单乙醇胺-三嗪（MEA 三嗪）是一种最常用的 H2S 清除剂。在工业上，测量水溶液中 MEA 三嗪的浓度存在许多挑战。本应用简报旨在开发一种使用 Agilent DialPath 透射附件测量水溶液中 MEA 三嗪浓度的中红外方法。所述分析方法符合使用不相同溶剂定量 MEA 三嗪的要求，可节约时机、简便易用，并降低粘度导致移液误差的可能性。